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专利名称：一种团簇离子束纳米加工设备专利类型：实用新型专利发明人：李应高,杨光永申请号：CN201621371871.5申请日：20161214公开号：CN206529291U公开日：20170929
摘要：本实用新型提供了一种团簇离子束纳米加工设备，包括进料装置、分级负压发生器、主轴电机、压力腔、物料预处理单元、纳米团簇离子束单元、纳米团簇粒径实时检测单元、出料装置以及电气控制系统。本实用新型通过实时检测纳米团簇粒径，保证了纳米团簇粒径的一致性和稳定性；采用游离磨料预处理和纳米团簇的能量束碰撞相结合的加工方式，保证纳米材料的粒径和纯度要求，最大限度地减少组份偏差和物相污染。
申请人：佛山旋疯纳米科技有限公司
地址：528200 广东省佛山市南海区丹灶镇建沙路东一街区28号一栋218-219
国籍：CN
代理机构：佛山市海融科创知识产权代理事务所(普通合伙)
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