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专利名称：静电吸附承盘及等离子体装置专利类型：发明专利
发明人：刘旭水,汪业杰,白峻荣申请号：CN200910160213.X申请日：20090730公开号：CN1019302A公开日：20101229
摘要：本发明提供一种静电吸附承盘及等离子体装置。该静电吸附承盘包含：下部元件、上部元件、凹口、以及可替换的侧壁防护物。此可替换的侧壁防护物填满位于下部元件及上部元件之间的凹口，以使此可替换的侧壁防护物可保护在此凹口中的环氧树脂或可取代此凹口中的环氧树脂。此防护物可完全填满凹口。此防护物也可覆盖凹口中的环氧树脂以使防护物突出至凹口外。在另一实施例中，在双极静电吸附承盘中的此可替换的侧壁防护物实质上覆盖含有导电极嵌于其中的区域。本发明提高了静电吸附承盘的使用寿命。
申请人：积体电路制造股份有限公司
地址：中国新竹市
国籍：CN
代理机构：隆天国际知识产权代理有限公司
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