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专利名称:莫来石烧结体、其制法以及复合基板专利类型:发明专利
发明人:矶田佳范,佐藤洋介,胜田佑司申请号:CN201580002212.6申请日:20150526公开号:CN105636920A公开日:20160601
摘要:本发明的莫来石烧结体是杂质元素的含量为1质量%以下的莫来石烧结体,莫来石烧结粒的平均粒径为8μm以下,存在于经研磨精加工的表面的气孔的最大部分长度的平均值为0.4μm以下。前述表面的中心线平均表面粗糙度(Ra)优选为3nm以下。前述表面的最大峰高(Rp)优选为30nm以下。在前述表面存在的气孔数在每4μm×4μm的面积中优选为10个以下。
申请人:日本碍子株式会社
地址:日本爱知县
国籍:JP
代理机构:北京银龙知识产权代理有限公司
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