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专利名称：透明材料中环状波导的飞秒激光直写装置和方法专利类型：发明专利
发明人：程亚,廖洋,储蔚,王鹏,齐家申请号：CN201610058876.0申请日：20160128公开号：CN105499806A公开日：20160420
摘要：一种透明材料中环状波导飞秒激光直写的方法。本方法的核心是利用空间光调制器等对飞秒激光脉冲进行空间相位整形和滤波，操控飞秒激光聚焦光斑光强为较为均匀的狭长分布。具有这种特性的飞秒激光脉冲与某些晶体、高分子聚合物、玻璃等透明介质相互作用，能够诱导介质内部激光焦点的狭长作用区域折射率变小。利用这种飞秒激光脉冲在透明材料内部直写，可以方便高效的得到折射率相对较小的层状结构。将相似的四个这种层状结构作为包层围成一条横截面为正方形的透明材料通道，即可得到在该透明材料内部的环状光波导。利用此方法诱导形成的波导结构能够方便控制模场尺寸，并且具备高加工效率、低损耗的特点。该方法对微纳光学中三维光器件集成化和芯片化有着重要的意义。
申请人：中国科学院上海光学精密机械研究所
地址：201800 上海市嘉定区上海市800-211邮政信箱
国籍：CN
代理机构：上海新天专利代理有限公司
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