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专利名称：扭转谐振器和采用其的滤波器专利类型：发明专利发明人：中村邦彦,川胜英树申请号：CN200680000095.0申请日：20060113公开号：CN1943110A公开日：20070404
摘要：一种没有桨叶的，并且能够有效振荡的高频扭转振荡器。所述扭转振荡器具有没有桨叶的横截面恒等的梁结构，并且具有经由缝隙贴近所述梁结构的侧表面设置的电极。二者之间的静电电容使得每单位扭转振荡量下的静电电容变化率最大，并且通过调整使得每单位AC电压下的静电电容变化率最大。在采用半导体工艺时，通过控制电极的厚度使这一调整变为可能。此外，所述振荡器采用单晶硅，并采用各向异性蚀刻制作梁形状，由此制造出具有良好的表面属性和高Q值的精密振荡器。
申请人：松下电器产业株式会社,国立大学法人东京大学
地址：日本大阪府
国籍：JP
代理机构：北京市柳沈律师事务所
代理人：陶凤波
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