低暗电流高速PIN探测器

（12）实用新型专利

（21）申请号 CN201620751818.1 （22）申请日 2016.07.18

（71）申请人 苏州北鹏光电科技有限公司

地址 215123 江苏省苏州市工业园区金鸡湖大道99号苏州纳米城2号楼505室

（10）申请公布号 CN205863193U

（43）申请公布日 2017.01.04

（72）发明人 李冲;刘巧莉;丰亚洁;吕本顺;郭霞;王华强;黎奔 （74）专利代理机构 南京苏科专利代理有限责任公司

代理人 陆明耀

（51）Int.CI

权利要求说明书 说明书 幅图

（54）发明名称

低暗电流高速PIN探测器

（57）摘要

本实用新型揭示了一种低暗电流高速PIN

探测器，包括衬底，所述衬底上生长有P型欧姆接触层，所述P型欧姆接触层上覆盖有增透膜，所述增透膜上设置有至少一个P型欧姆接触电极，所述衬底上端面除P型欧姆接触层外的区域均覆盖有阻隔层，所述阻隔层上覆盖有增透膜，所述衬底下端面由上至下依次覆盖生长有N型欧姆接触层及N型欧姆接触电极，所述衬底上端面开设有第一隔离沟槽，所述衬底下端面开设有第

二隔离沟槽，所述第一隔离沟槽与第二隔离沟槽内均填充有阻隔材料，所述第一隔离沟槽位于所述P型欧姆接触层的外周侧，所述第一隔离沟槽与第二隔离沟槽上下对应。本实用新型能够有效减少器件内部的暗电流，效果优异，具有很高的使用及推广价值。

法律状态

法律状态公告日2017-01-04 2017-01-04 2017-08-25

法律状态信息

授权 授权

避免重复授权放弃专利权法律状态

授权 授权

避免重复授权放弃专利权

权利要求说明书

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说明书

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